1. Lâminas de silício do tipo n, (100), com resistividade entre 4 e 6 ohm .cm. Lâminas para dispositivos mais uma lâmina teste.

Medidas de resistividade (4 pontas) e espessura.

2. Limpeza padrão RCA completa.

3. Oxidação úmida, SiO₂, X_ox = 0,7 micron.