A oxidação úmida é realizada colocando-se as lâminas no forno onde serão expostas à diferentes gases, sob diferentes tempos. Abaixo estão as características da oxidação realizada:

• Forno de Pen. Fósforo, T = 1000 °C
• Entrada em N₂, > 3 min;
• N₂ = 10 min;
• O₂ = 10 min;
• O₂ / H₂O = 180 min. (aprox. 63 gotas / min);
• N₂ = 10 min;
• Saída em N₂, > 3 min.

Observações: Medida do óxido (realizada em 07/01/99): 0.735 µm.
Clivar lamina teste em 4 quadrantes: T1, T2, T3 e T4 (opcional, clivar em 2 meias lâminas, para clivar em quadrantes posteriormente, após etapas).