Equipamento: NanoFrazor SwissLitho-Heidelberg
Responsável:
Co-responsável:
Financiamento:
Descrição
Equipamento de litografia por ponta de prova térmica.
O equipamento permite fabricar, processar e caracterizar novas nanoestruturas e nanodispositivos, com resolução lateral até 10-20 nm através de vaporização do resiste fino (100-200 nm) em contato com a ponta de prova aquecida em atmosfera de ar, sem uso de vácuo. Resolução lateral de processamento – até 20 nm.
Recursos
Informações de segurança
Exigências para uso
Restrições de materiais
Restrições de parâmetros para uso