Equipamento: MJB4
Responsável: Luana Espindola
Co-responsável:
Financiamento:
Descrição
Fotoalinhadora de dupla face, permite fazer litografia em dois lados de wafer de Si, resolução mín. 0.5 μm.
Recursos
Informações de segurança
Exigências para uso
Restrições de materiais
Restrições de parâmetros para uso