Equipamento: Filmetrics
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Descrição
Esse sistema automatizado de refletância espectral permite medições de espessura de filmes finos com até 450 mm de espessura. O estágio motorizado se move automaticamente sobre os pontos de medição selecionados na superfície de um wafer inteiro e fornece medições de espessura com até dois pontos por segundo. Ele permite escolher entre dezenas de padrões de mapeamento: polar ou retangular, pré-definido ou customizado, sem limite no número de pontos de medição. O sistema de mapeamento se conecta à porta USB do computador e pode ser usado por qualquer pessoa com conhecimentos básicos de informática
Recursos
Informações de segurança
Exigências para uso
Restrições de materiais
Restrições de parâmetros para uso