
Equipamento: CPD tousimis 931 Series (link externo)
Responsável: Fred Cioldin
Co-responsável:
Financiamento: Fapesp (Proc.: 2012/17765-7)
Descrição
O secador Tousimis 931ª permite a secagem de amostras por ponto crítico.
Isso permite que estruturas 3D sejam secas sem risco de dano.
Para isso, o sistema utiliza CO₂ líquido, ao aumentar a pressão até próximo de 1500 psi e a temperatura até 40°C, o dióxido de carbono atinge seu ponto crítico, onde sua fase gasosa e líquida coexistem e não existe distinção, possibilitando a secagem da amostra sem causar nenhum dano.
Recursos
Gases disponíveis: CO₂ líquido e isopropanol.
Informações de segurança
O equipamento utiliza alta pressão e gás liquefeito.
O usuário deve estar sempre presente durante o processo.
Verificar se a câmara está bem fechada.
O manual do equipamento encontra-se embaixo do mesmo.
Exigências para uso
- Conversar com o responsável antes de agendar o treinamento ou processo.
- Agendar o processo no sistema de agendamento.
- Antes de começar o primeiro processo fazer limpeza orgânica antes de inserir a amostra no equipamento.
- Qualquer problema durante o processo, contatar o responsável imediatamente.
- Após o processo:
- Esperar o sistema terminar a rotina de despressurização da câmara
- Checar se a amostra está seca.
- Contatar o responsável se o gás do cilindro acabou.
Restrições de materiais
Somente a utilização de isopropanol é permitida.
Metais incompatíveis com processo CMOS não são permitidos (ouro, cobre, cromo, carbono, etc.)
Polímeros.
Restrições de parâmetros para uso
Dimensões máximas de 10×10 mm
05 amostras por secagem
As amostras deverão estar imersas em isopropanol antes do processo de secagem.