No CCS estão disponíveis todos os equipamentos para realização de litografia óptica por contato. Em particular estão a disposição dos usuários os seguintes equipamentos. Karl Zuss – MJB4: Fotoalinhadora de dupla face, permite fazer litografia em dois lados de wafer de Si, resolução mín. 0.5 um. Operacional desde 2009. Karl Zuss – MJB3: Fotoalinhadora com resolução de até 1 um. Outras informações: Estatísticas de uso