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Capítulo
1 |
Texto |
PPT |
Cap. 01 |
Evolução |
Capítulo
2 |
Texto |
PPT |
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Processo
MOS CCS |
Processo
NMOS |
Capítulo
3 |
Texto |
PPT |
Cap
07 |
Escalamento |
Cap
08 |
Processo
CMOS |
Capítulo
4 |
Texto |
PPT |
Cap04 (EE 511) |
Cristalografia |
Capítulo
5 |
Texto |
PPT |
Cap 05 (EE 511) |
Obtenção
de
Cristais de Si |
Capítulo
6 |
Texto |
PPT |
|
Crescimento
Epitaxial |
Capítulo 7 |
|
Oxidação |
Capítulo
8 |
Texto |
PPT |
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Difusão
de Dopantes em Si |
Capítulo
9 |
Texto |
PPT |
|
Implantacao
de
íons |
Capítulo
10 |
Texto |
PPT |
Plasma
Etching |
Plasma |
Capítulo
11 |
Texto |
PPT |
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CVD I |
|
CVD II |
Capítulo
12 |
Texto |
PPT |
|
PVD I |
|
PVD-II |
Capítulo
13 |
Texto |
PPT |
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Corrosão
I |
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Corrosão
II |
Capítulo
14 |
Texto |
PPT |
|
Litografia
I |
|
Litografia
II |
Capítulo
15 |
Texto |
PPT |
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Limpeza e
corossão I |
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Capítulo
16 |
Texto |
PPT |
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Back-End I |
|
Back-End II |