A oxidação de porta é realizada colocando-se as lâminas no forno onde serão expostas à diferentes gases, sob diferentes tempos para o crescimento de uma fina camada de óxido. Abaixo estão as características da oxidação realizada:

• Forno de Pen. Fósforo, T = 1000 °C
• Entrada em N₂, > 3 min;
• N₂ = 5min;
• O₂ = 5min;
• O₂ + (x%) TCE = 30min;
• O₂ = 5min;
• N₂ = 10 min (ou 30 min, se não usar etapa dep. PSG);
• Saída em N₂, > 3 min.

Observações: Medida de espessura do óxido sobre o caco T1(porta), T2 (campo) e T4 (S/D).
É feita a remoção do óxido sobre caco T4.
Medida de Rs e Tj no caco T4.