A oxidação úmida é realizada colocando-se as lâminas no forno onde serão expostas à diferentes gases, sob diferentes tempos para o crescimento do óxido. Abaixo estão as características da oxidação realizada:

• Incluir os cacos teste
• Forno de Pen. Fósforo, T = 1000 °C
• Entrada em N₂, > 3 min;
• N₂ = 20min;
• O₂ = 5min;
• O₂ + H₂O = 100min;
• N₂ = 10 min;
• Saída em N₂, > 3 min.

Observações:

Medida de espessura do óxido sobre os cacos T1 e T3.
É feita a remoção do óxido sobre caco T4.
Medida de Rs e Tj no caco T4.