Etch do Alumínio e Sinterização


Após a metalização por evaporação térmica, é feita a corrosão do alumínio nas partes não protegidas pelo fotorresiste. A solução utilizada para esta corrosão é composta de ácido fosfórico e nítrico, na proporção 9,5:0,5.

A sinterização é feita sob aquecimento (450°C) e exposição durante 30 minutos N2 e vapor d'água.